技术编号:3074804
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种加工双面ITO玻璃的紫外激光刻蚀装置,可以使用紫外激光将照射部位薄膜去除,达到对双面ITO玻璃的加工目的,本发明公开的刻蚀装置包括支撑机构和紫外激光光路加工机构,所述支撑机构包括上支撑装置和下支撑装置,所述上下支撑装置各包含一套紫外激光光路加工机构,用于提供加工双面ITO玻璃的紫外激光束,同时所述紫外激光刻蚀装置还包括吸附孔,提供固定双面ITO玻璃的吸附力。专利说明一种加工双面ιτο玻璃的紫外激光刻蚀装置[0001]本发明涉及激光加工领域,...
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