技术编号:3076932
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在此提供静电夹盘的实施例。在一些实施例中,一种用于支撑与保持具有给定宽度的基板的静电夹盘可包括介电构件,具有支撑表面,该支撑表面被配置成支撑具有给定宽度的基板;电极,设置在该介电构件内位于该支撑表面下方,并且从该介电构件的中心向外延伸至超过该基板的外周边的区域,该外周边由该基板的该给定宽度所界定;RF电源,耦接该电极;以及DC电源,耦接该电极。专利说明静电夹盘[0001]本发明的实施例大体上关于半导体的处理。背景技术[0002]发明人已观察到,用于在等离子...
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