全方位动热源式Z轴微机械加速度计技术资料下载

技术编号:30777306

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全方位动热源式z轴微机械加速度计技术领域.本实用新型涉及一种利用全方位动热源摆在线加速度作用下发生摆动从而检测运动载体加速度姿态参数的技术,尤其是涉及全方位动热源式z轴微机械加速度计,属于惯性测量领域。背景技术.由于载体姿态测量在民用车辆、铁路建设、工业生产、桥梁建筑、地震研究、大地测绘、地矿勘探、海洋调查、卫星通讯、机器人工程等多种领域中的应用需求,近年来,传感器技术与新兴科学技术间的有机结合将使姿态传感器朝着微小型、综合型和智能型的方向发展。利用微机电系统mems(micro-elect...
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