技术编号:3078694
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,所述方法包括选取实验用材料,配制含有不同浓度掺杂杂质的材料;材料经局部掺杂后,对特定波长激光产生共振吸收;材料吸收光谱的测量;波长调节系统调整激光波长至此吸收峰值处,共振吸收峰应与激光波长对应;比较不同材料不同掺杂浓度下,共振加工与非共振加工之间加工速率的差异;利用表征方法,优化掺杂条件。本发明的有益效果为本发明通过在宽禁带材料中进行掺杂特定杂质,产生对光子的共振吸收效果,与传统的激光加工方法相比,能够实现对材料的高效率及选择性加工。专利说明 ...
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