技术编号：3078695
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及，该方法在单点飞秒激光诱导晶硅表面周期性微纳结构几何形态控制的基础上，通过对飞秒激光线偏振方向与激光直写方向进行控制，实现了对直写线宽的调控，当激光直写方向与线偏振方向平行时得到最小线宽表面周期性微纳结构，当激光直写方向与线偏振方向垂直时得到最大线宽表面周期性微纳结构。本发明的有益效果为本发明通过简单的基于激光偏振态的调节及飞秒激光脉冲序列的应用，能够精确控制飞秒激光诱导晶硅表面周期结构的几何形态，从而为飞秒激光直写诱导大面积周期结构的产生提供了...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。