技术编号:3079061
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种激光处理方法,该方法包含有以下步骤将激光束引导至工件;在激光束和工件之间引起相对移动。其中将激光束引导至工件的步骤包括将激光束聚焦在工件内部,直到内部损坏形成在工件内部,而碎裂从内部损坏延展至工件的至少一个表面以在工件上形成表面裂纹。另外,在激光束和工件之间引起相对移动的步骤是如此设置以致于工件上的表面裂纹沿着工件上的分割线延展。本发明还公开了一种激光处理装置。专利说明激光处理的方法和装置[0001]本发明申请涉及一种激光处理的方法和装置,...
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