技术编号：3079163
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种，与时钟信号同步地使用脉冲选择器控制脉冲激光束的通过和截断，从而以光脉冲为单位切换脉冲激光束向被加工基板的照射和非照射，以裂纹在被加工基板表面上连续的方式形成在被加工基板到达基板表面的裂纹，该具有第一裂纹形成步骤，对被加工基板沿着第一直线照射脉冲激光束；以及第二裂纹形成步骤，对被加工基板沿着与第一直线正交的第二直线照射脉冲激光束，在第一直线与第二直线交叉的区域，在第一裂纹形成步骤或第二裂纹中形成步骤使脉冲激光束的光脉冲密度增加。专利说明[0001]相关...
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