技术编号:30797806
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体为一种配置热丝的真空镀膜装置。背景技术.真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法,例如,真空镀铝、真空镀铬等,为了提高真空镀膜效果,就需要一种配置热丝的真空镀膜装置。.现有装置在机体内将热丝设置于立式电弧离子镀设备真空室壁两列靶材中间部位来提高真空镀膜效果。.但是现有装置在进行工作时对工件的固定不够稳固,在转动时容易发生运动。实用新型内容.针对现有技术的不足,本实用新型提...
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