技术编号:3081766
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种多自由度调整机构,自下而上包括固定基座组件、X方向调整组件、Y方向调整组件、连接板和三个调整螺钉组件,在连接板上三个调整螺钉组件呈三角形分布。本发明可实现多个自由度的定位调整,定位精度高,并且操作方便,调整范围大;结构简单,对零件的加工精度要求不高,可有效降低加工成本。专利说明多自由度调整机构[0001]本发明涉及一种多自由度调整机构,适用于精密机械加工以及装配,尤其是光刻机等光学精密仪器与设备的装配集成。技术背景[0002]精密仪器的装配集成中,往往...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。