技术编号:3081996
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。具有纳米级分辨率的超精密定位工作台 是 涉及一种定位工作台,尤其是涉及一种纳米级分辨率的超精密定位工作台。 本发明 提供一种运动精度、定位精度可达到亚微米甚至纳米量级的具有纳米级分辨率的超精密定位工作台。 本发明主体由柔性铰链工作台和压电陶瓷微位移器组成,其结构要点是采用双频激光干涉仪 SJD5 检测,由计算机和相位计共同组成闭环控制系统;通过计算机给出数字信号,经 D/A 转换并放大,产生 0 ~ 1000V 、步长为 1V ...
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