技术编号：3083345
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种分离式喷淋头结构，包括气体分配部，至少具有第一气体分配腔室和第一气体管，所述第一气体分配腔室用于提供第一气体，所述第一气体管的一端与所述第一气体分配腔室相连通；冷却部，与所述气体分配部的下表面相连接，所述冷却部下方为反应区域，所述冷却部中至少设置有第一延伸管，所述第一延伸管一端与所述第一气体管的另一端相连接，来自所述第一气体分配腔室的气体经过所述第一气体管和所述第一延伸管流向反应区域；其中所述冷却部的上表面以及所述气体分配部的下表面具有台阶...
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