技术编号:3087923
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,属于飞秒激光应用。本方法综合激光偏振参数与晶硅材料的晶格性质,通过有效调节飞秒激光线或者椭圆偏振与单晶硅的夹角,调控材料表面瞬时电子激发动态来控制晶硅表面周期性波纹微纳结构选择性诱导产生,能高效精确的按照预先的设计实现晶硅表面周期性波纹微纳结构的诱导产生。本发明从静态激光辐照及激光直写两方面对具有金刚石晶格结构的硅表面周期性波纹微纳结构进行选择性烧蚀控制,大大提高了其表面处理的加工精度及加工效率,在信息存储等方面具有至关重要的应用价值。专利...
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