技术编号:3089506
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种ITO靶材与铜背板的绑定方法。该ITO靶材与铜背板的绑定方法包括将铜背板固定于加热台上,将ITO靶材放置于所述铜背板上;对所述铜背板进行加热,通过钎焊将所述ITO靶材贴合在所述铜背板上;及在所述ITO靶材的远离所述铜背板的表面上放置配重块,待所述ITO靶材冷却后取下所述配重块的步骤。方法将铜背板固定于加热台上,铜背板在升温过程中变形量减少,提高了粘贴面的平整度,为高质量的ITO靶材绑定做好准备,钎焊后在ITO靶材上放置配重块,解决了铟流动性不...
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