技术编号:30913607
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及单晶生长炉内部石墨热场件的打磨清理工作技术领域,具体涉及一种单晶炉热场石墨件清理打磨平台。背景技术.在惰性气体环境中,单晶炉设备通过石墨加热器及其他石墨件将多晶硅等多晶材料在高温下熔化成溶液,并采用直拉法生长无错位单晶。其中单晶炉热场是单晶炉中的必备部件,主要由柱状等静压石墨加工而成。单晶炉热场件在运行完一炉后,需要对单晶炉内的石墨件进行拆清处理,清除附着在石墨件上的碳化硅、硅蒸汽、黄色氧化物等杂质。如果石墨件有溅硅,则需要进行打磨处理。.目前,在清理石墨件上附着杂质时,操...
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