技术编号：30952827
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种利用自我对准方式形成闪存存储器的字符线的方法及其结构。背景技术.闪存存储器是一种非挥发性存储器，其在缺乏外部电源供应时，也能够保存存储在存储器中的信息内容。近几年来，由于闪存存储器具有可重复写入以及可被电抹除等优点，因此，已被广泛地应用在移动电话、数字相机、游戏机、个人数字助理等电子产品或正在发展中的系统单芯片(system on a chip,soc)中。.然而，目前闪存存储器的字符线是使用光致抗蚀剂定义字符线位置，然而，因为机台本身的误差，使得光致抗蚀剂位置发生偏差，造...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。