技术编号:3101829
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种直驱式微动平台,包括底座及设于底座上的工作台。工作台内设有三组直线模组,三组直线模组呈圆周阵列形式固定于底座上,且每两组直线模组的夹角均为60度。直线模组包括音圈电机及与音圈电机连接的移动机构,音圈电机设于底座上,移动机构连接于工作台。直线模组的一侧电性连接有光栅尺,另一侧电性连接有光电开关。本实用新型结构简单,减小了微动平台的运动惯量,消除中间传动机构环节的弹性形变及间隙、效率高,精度高,响应快。专利说明直驱式微动平台[0001]本实...
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