技术编号:31053375
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及气体处理设备技术领域,尤其涉及一种废气处理系统。背景技术.在半导体行业中,以及其他的化工加工领域,需要对废气进行处理,一些处理方式,需要通过加热装置提供高温环境。.相关技术中,多采用电加热方式,多支加热棒或者整个加热柱体安装在反应腔内部,总体属于电阻加热技术。该技术需要在反应腔内部设置加热设备,影响了腔体的体积以及安装拆卸的难度。电加热器属于一种传导式加热装置,空间散热较多,导致用到反应的实际温度较低,热效率较低。.反应腔主要是进行气体反应的以及其生成物的部件,所以也是最容易...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。