技术编号：31065993
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.用新型涉及射频电源，尤其涉及一种大功率射频电源。背景技术.射频电源是一种可以产生所需频率的脉冲、频率在射频范围（约khz～ghz）内、具有一定功率的电源。射频电源已广泛应用于半导体蚀刻、半导体薄膜制备、去胶、led生产、太阳能光伏产业、医疗美容、常压等离子体消毒清洗等各种行业中。.随着工业不断发展，各种工艺所需的电源功率不断增大，因此对单体射频电源的输出功率要求也随之增大，通常要求单体射频电源的输出功率达到数千瓦甚至是数十千瓦。但是单体射频电源受限于腔体的匹配等限制，大功率射...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。