一种带可拆卸陶瓷块式晶圆测试探针卡的制作方法技术资料下载

技术编号:31107271

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.本实用新型涉及测试探针卡领域,具体为一种带可拆卸陶瓷块式晶圆测试探针卡。背景技术.一般来说,对被测器件的测试是指探测分拣出生产阶段出现不良或有缺陷的元件,因此,探针卡通常用于半导体、硅晶片的切割及芯片封装前,通过接触集成于半导体或硅晶片上的电子元件来进行电性测试。.但是现有的探针块安装在探针基座上时不便于拆卸,导致其在具体使用时实用性较低,同时现有的探针卡在不使用时由于没有保护装置,探针极易受到颗粒粉尘的污染,从而造成探针的测试精确度和可靠性降低。实用新型内容.本实用新型的目的在于提供...
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