技术编号:3112540
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种玻璃盖片激光划片装置,它包括能够发出激光束的激光光源,对所述激光光源所发出的激光束的激光功率进行调节的激光功率调节装置,用于调节所述激光束的偏振态及偏振方向的装置,使所述激光束会聚的激光会聚装置,能够让由所述激光会聚装置会聚的激光焦点的位置沿竖直方向上下移动的Z向移动机构,以及用于固定晶圆的晶圆定位平台;所述晶圆定位平台上设置有能够带动该晶圆定位平台在水平面内作旋转运动的旋转机构、以及能够带动该晶圆定位平台在水平方向平移运动的X向移动机构和...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。