一种长物距线性色散物镜技术资料下载

技术编号:31129274

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.本发明属于光学物镜领域,特别涉及一种具有长物距的轴向线性色散物镜。背景技术.彩色光谱共焦技术是一种非接触式光学测量手段,利用轴向色散实现对轴上位置的编码,取代了共焦显微镜的轴向扫描,大幅度提高了测量速度,分辨率可达微、纳米级。而且相较于传统的的激光三角反射式测量系统、白光干涉仪、电感式传感器等测量方式,彩色光谱共焦传感器质量轻、体积小,对表面状况的要求更低,容许更大的倾斜角度,因此被广泛应用于表面形貌检测、精密测量、生物医学成像、超精密制造等不同领域。.光谱共焦的轴向色散是通过色散物镜实...
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