技术编号:3115446
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种,属于光学材料加工。修复装置包括依光路走向设置的激光器、能量调节单元、光束调节单元、光束会聚透镜和元件位移平台;能量调节单元与光束调节单元之间设有一级反射镜;光束调节单元与光束会聚透镜之间设有二级反射镜;光束会聚透镜与元件位移平台之间设有三级反射镜;激光器、能量调节单元、光束调节单元由系统控制单元控制;系统控制单元与元件位移平台之间设有监控单元;元件位移平台上设有托架。本发明可快速、简易、精确的修复损伤坑,从而可以大幅度提高元件的利用率,降...
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