技术编号:3117771
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种大行程柱坐标双光子聚合加工方法及装置,属于微纳制造。将试件以共轴或离轴方式安装在一个C轴转台上,C轴转台绕z轴作回转运动,使飞秒激光束相对于试件作周向运动,C轴安装在x轴溜板上沿x向作直线进给运动,使飞秒激光束相对于试件作径向运动,通过二维振镜绕x和y轴的摆动,使飞秒激光束沿C轴转台之径向作快速往复摆动,通过z轴溜板沿z向的平动,获得飞秒激光束聚焦中心沿z向的进给运动,当试件以离轴方式安装,可实时改变C轴转台的转速,以使飞秒激光束在每个预期的...
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