技术编号:3118670
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了,定位平台采用结构紧凑、集多尺度驱动模式于一体的压电马达作为单级驱动,交叉滚子导轨作为导向机构,以及高分辨率精密光栅尺作为反馈,不需要借助中间传动机构,避免了采用滚珠丝杆等中间传动环节带来的反向间隙误差、精度和刚度不足等缺陷。通过合理控制利用压电马达的AC连续驱动模式与DC扫描模式,即可实现大行程快速驱动与纳米量级精密定位的目的。而且,定位误差向后补偿方法简单有效,避免了宏/微双层位置检测反馈装置以及复杂的宏/微双级驱动阈值切换算法。而只需要一...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。