技术编号:3119664
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明内容涉及样本加工系统,且特别是关于用以控制加工装置相对于目标样本 的二维或三维定位的级台结构(stage architecture)。背景技术建构成用于使用在半导体晶片等级的加工处理的晶片运送系统一般包括一级台, 此级台具有一个紧固晶片以便加工的夹头。有时候,此级台是静止的,而有时候它是可移动 的。一些应用情形需要使级台在有旋转或没有旋转的情况下于笛卡儿座标系统的一维、二 维或三维座标中线性地移动。假如总加工时间的很大部分的时间是耗费在对准及运送晶片...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。