技术编号:31357911
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及集成光学和惯性传感领域的一种,具体涉及一种非厄米奇异点光学微腔加速度传感器。背景技术.近年来,mems加速度计由于其体积小、可批量制作、成本低等优势在汽车、航空航天等领域应用广泛。电容式加速度计由于制作方法简单成熟成为使用最广泛的mems加速度计之一。然而,卷曲效应、寄生电容等问题使电容式加速度计精度有限、且存在不抗电磁干扰的问题。相比电容式加速度计,光学加速度计具有精度高、抗电磁干扰等优势,在加速度传感领域具有广阔的应用前景。.传统的光学加速度计有波长敏感型、光强敏感型和相位...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。