技术编号：31400983
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及分子泵技术领域，具体为一种超高真空分子泵。背景技术.分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵，牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。涡轮分子泵靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。.目前超高真空分子泵中的动涡轮叶片和静涡轮叶片安装结构较为复杂，当检修或者更换叶片时，需要对壳体、电机轴等大量结构进行拆卸，操作繁琐，导致工作人员...
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