技术编号：31406265
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于晶圆转移设备领域，特别涉及一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架。背景技术.晶圆抛光盘是晶圆切片后获得的盘状结构，一般经历切片、粗磨、喷淋润湿、精磨的过程，由于晶圆生产为大批量的大型车间作业，所以切片和研磨工序均在不同的车间完成，故切片完成后需要将晶圆抛光盘转移到研磨车间。.喷淋润湿工序是为了在精磨之前对晶圆抛光盘需要研磨的表面进行润湿，这是进行研磨前的工艺要求，现有的喷淋润湿工艺一般有：浸泡、表面喷淋等方式，例如，浸泡则为将整个晶圆抛光盘浸入到泡水池中，整体进行润湿；表面喷淋为将晶...
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