技术编号:31408627
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及镀膜技术领域,具体的说,涉及一种电子束高精度镀膜设备。背景技术.电子束蒸发是将镀膜材料放入水冷铜坩埚中,用高能密度的电子束轰击镀膜材料而使其蒸发的一种方法。蒸发源由电子发射源、电子加速电源、坩埚(通常是铜坩埚)磁场线圈、冷却水套等组成。在该装置中,被加热的物质放置于水冷的坩埚中,电子束只轰击其中很少的一部分物质,其余的大部分物质在坩埚的冷却作用下一直处于很低的温度,可以看作被击部分的坩埚。因此,电子束加热蒸发的方法可以避免镀膜材料和蒸发源材料之间的污染。.现有的电子束高精度镀膜...
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