技术编号:31409383
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于微电子技术领域,特别涉及一种复合功能器件,可用作电力电子系统的基本单元。技术背景.随着宽禁带半导体材料的发展,传统硅基功率晶体管其性能已趋近理论极限,很难满足下一代高性能电力电子系统对高温、高压、高频、高效和高功率密度的迫切要求。而基于p型帽层gan基异质结结构的增强型高电子迁移率晶体管,即氮化镓基功率晶体管,可实现更低导通电阻、更快开关速度、更高功率密度等优异特性,有助于大大提升电力电子系统的性能和可靠性,显著减小功耗。因此,大力研发高性能、高可靠性氮化镓基功率器件,对我国实现...
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