技术编号：3143579
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种大行程柱坐标双光子聚合加工装置，属于微纳制造。包括支座、大理石、振镜箱体、x轴溜板与气浮直线导轨一滑动连接，直线电机一与气浮直线导轨一连接，C轴转台叠放在x轴溜板上，底座与C轴转台固定连接，z轴溜板与气浮直线导轨二滑动连接，直线电机与气浮直线导轨二连接，气浮直线导轨二连接在底板上，z轴溜板上通过内六角圆柱头螺钉安装有气缸连接座，气缸的缸体通过螺纹安装在气缸安装座上，振镜箱体通过4个内六角圆柱头螺钉安装在z轴溜板上，二维振镜安装在振镜支座上...
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