微型红外探测器高真空排气激光封口装置及工艺的制作方法技术资料下载

技术编号:3144116

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本发明涉及激光加工技术,具体是指一种微型红外探测器高真空排气激光 封口装置及工艺。 背景技术由于大多数红外探测器工作时处于深冷状态,因此,绝热和真空保持是设 计中最关键和最基本的。红外探测器的真空寿命主要由材料放气、漏率、排气工艺以及消气剂的综 合因素影响决定。其材料主要有不锈钢、可伐、钛合金、无氧铜和一些非金属材料,如95陶瓷、低温胶等。本发明基于对非制冷型或热电致冷型红外探测器组件封装中的高真空排 气封口工艺。现阶段的工艺方法是在器件壁上钎焊一根无氧铜...
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