技术编号:3148569
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于一种动静压轴承,特别是涉及一种能够提高主轴的转动精度的超精密电 液伺服控制的动静压轴承与进给机构。背景技术动静压轴承由于具有摩擦力小,使用寿命长,抗振性能好,精度较高等特点,在机 床主轴上获得广泛的应用,但随着工业技术的发展,特别是国防工业、航空工业的发展, 对主轴的旋转精度要求越来越高,常规的动静压轴承己不能满足需要,因此需要研发旋 转精度更高的动静压轴承(主轴径向跳动0.0001 0.000001mm)。同时在超精密加工中, 需要0. 000...
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