技术编号:31525430
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及镀覆技术领域,具体地,涉及用于真空镀膜的基片夹具,还涉及包括该基片夹具的上下料设备和连续真空镀膜系统。背景技术.为了提高工件(例如燃料电池的金属双极板)的耐腐蚀性能,可以利用真空镀膜的方式在工件的表面镀覆薄膜或涂层。例如,燃料电池的金属双极板的耐腐蚀性相对较差,在燃料电池的使用环境中,金属双极板腐蚀后溶出的金属离子会污染燃料电池的质子交换膜,降低电堆的整体性能进而造成电堆失效。此外,腐蚀后金属表面生成的钝化膜会增大金属双极板表面的接触电阻,也会降低电堆的性能。因此,在金属双极...
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