技术编号:3159655
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及向旋转的工件供给清洗液来进行清洗的形式的旋转清洗 装置、和装备有该清洗装置的各种加工装置。在本发明中成为对象的工 件可以列举出例如半导体晶片或电子部件的基板等薄板状工件。背景技术例如在半导体器件的制造工序中,在大致圆板形状的半导体晶片的 表面通过格子状的分割预定线划分出多个矩形区域,在这些矩形区域的表面上形成IC(integrated circuit集成电路)或LSI (large-scale integration 大规模集成电路)等电子电路,...
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