技术编号：3163737
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体器件的激光精细加工领域，是一种片式电阻激光刻蚀修调中首脉冲能量抑制的激光精细加工的控制系统和工艺控制方法。 背景技术随着微电子技术的飞速发展，激光精细加工技术在半导体微电子产业中的作用越 来越重要，激光片式电阻阻值修调设备(激光调阻机)是激光精细加工领域中具有代表性 的工业设备之一。激光调阻原理采用高频脉冲激光先后分别沿片阻导体的横截面和纵截 面两个方向进行刻蚀，刻痕路径上相应的半导体材料气化，改变了片阻导体的导电路径和 导电面积，使电阻阻...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。