技术编号:3164553
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种定位平台,尤其涉及一种超精密压电定位平台。 背景技术参考中国台湾专利公告第589240号,其揭示一种具奈/微米旋动功能的非直线旋 动微调装置,该现有非直线旋动微调装置包含一具弧形或圆形旋动台、至少一组装设于旋 动台内部的位移驱动元件组以及导引或支撑该旋动台产生旋动的弧形基台或枢轴,使对应 基台或枢轴产生微动,藉此,以令该圆形或弧形旋动台作非直线的奈/微米级位移。参考中国台湾专利公告第567122号,其揭示一种具奈/微米旋动功能的万向滚动 微调...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。