技术编号:3164574
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及将激光照射到对象物上来修复缺陷的技术。背景技术在各种基板的制造工序中,使用拍摄基板得到的图像进行检查,当检查 的结果发现了缺陷时,根据需要进行缺陷修复。基板例如包含液晶显示器(LCD; Liquid Crystal Display) 、 PDP (Plasma Display Panel,等离子体显示面板)、 有机EL (ElectroUiminescence, 电致发光)显不器、SED (Surface-conduction Electron-...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。