一种适用于辉光放电光谱仪的样品真空转移装置技术资料下载

技术编号:31672046

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.本实用新型涉及光谱分析技术领域,具体涉及一种适用于辉光放电光谱仪的样品真空转移装置。背景技术.辉光放电光谱仪(英文名称为glow discharge spectrometer,缩写为gds)可以对材料表面进行化学元素含量分析。尤其是在金属材料领域,辉光放电光谱仪是一种根据深度与含量关系进行表面分析的仪器,在进行含量与深度关系测量中,分析深度可达几百微米,深度分辨率可低至几纳米。辉光放电光谱仪可以实现对材料表面涂覆过程的质量监控和各种表面处理工艺的过程监控。采用深度剖面分析技术,辉光放电光谱...
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