技术编号:3167576
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明揭示的各种具体实施例大体上是关于材料的刻划,以及用于刻划这些材料 的系统及方法。这种系统及方法在刻划单结太阳能电池及薄膜多结太阳能电池方面可能尤 其有效。背景技术用于形成薄膜太阳能电池的目前方法涉及沉积或形成多层在基板上,例如适合形 成一个或多个p-n结的玻璃、金属或聚合物基板。太阳能电池的实例具有沉积于基板上的 氧化层(如,透明导电氧化物(TCO)层),之后为非晶硅层及金属支撑层。可用来形成太阳能 电池的材料,连同用于形成电池的方法及设备的实例,是...
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