技术编号:31677884
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及光电探测器领域,特别涉及一种硅基锗探测器及其制作工艺。背景技术.随着光纤通信系统的发展,光器件的发展也同样面临着机遇和挑战,如何开发出性能优良、价格低廉的光器件已经成为人们所面临的首要问题。硅基光电子器件具有易于集成、工艺成本低等优点,近些年来引起研究人员的广泛关注。硅(si)材料作为微电子领域的传统材料,在加工工艺和制作成本上有着其他材料无可比拟的优势,硅基光电子集成技术应运而生。作为硅基光电集成技术中的重要的代表元件之一的光电探测器,它的作用就是把入射的光信号转化为电信号,以...
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