技术编号:3168612
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明为采用激光角度干涉仪测量数控转台位置精度的装置,是激光角度干涉仪的扩展应用,用于检测数控机床数控转台的位置精度。 背景技术 激光角度干涉仪测量原理如图1,激光头1发出的激光束在角度干涉模块2中分为两路,分别射向角度反射镜3中的两个角偶棱镜,当角度反射镜从原始位置E转动到F位置时,对应转角为α,两个角偶棱镜的激光束光程发生δ变化,角度反射镜的旋转角α可由下式求出 α=arcsin(δ/A) 上式为激光角度干涉仪测量公式。A为角度反射镜常数...
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