技术编号:3170489
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及飞秒激光加工,特别是一种飞秒激光快速加工装置。 背景技术飞秒激光以其加工精度高、热效应小、损伤阈值低和可以对透明材料实现三维微 加工等优点在当代微制造领域中独树一帜,它为我们提供了一种全新的制备大规模、复杂 三维微结构的方法。目前已在微光学、微流体、微电子和微机械等领域中体现出重要应用前景。传统的飞秒激光直写加工技术是以紧聚焦飞秒激光束进行点扫描来完成的,通常 使用短焦距的透镜或显微物镜对光束聚焦,焦点处光斑尺寸一般只有几个微米。固定激光 焦点不...
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