技术编号:3170720
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于激光加工领域,特别是激光铣削、切割和钻孔等领域。 背景技术转镜式扫描系统,其工作原理是将从谐振腔中导出的激光通过扩束,经过空间成 90°安装的两个步进电机驱动的反射镜的反射,由F-theta场镜聚焦后输出作用于处理对 象上,反射镜的转动使工作平面上的激光作用点分别在X、Y轴上移动,两个镜面协同动作 使激光可以在工作平面上完成直线和各种曲线的移动。振镜扫描加工技术同转镜式扫描系统相同,这种典型的控制系统采用了一对折返 镜,不同的是,驱动这套镜片的步...
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