技术编号:31708803
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及单晶拉制技术领域,更具体地,涉及一种智能化拉晶工艺方法。背景技术.单晶硅具有准金属的物理性质,具有显著的半导电性,是半导体元件加工的主要原料,现有的拉晶工艺通常是通过单晶炉对硅料进行加热熔化,在合适的温度下,经过融料,稳温,引晶,放肩,转肩,等径和收尾等步骤完成单晶硅柱状成品的拉制。其中,放肩是整个拉晶过程中重要的一道工序,一根单晶拉制的开始,放肩的成功与否,直接关系到拉晶的成品率与单产。现有放肩工艺方法根据引晶最后-min或最后mm的平均拉速判断熔体的温度,然后自动...
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