技术编号:3171343
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。紫外激光加工系统本发明涉及激光加工领域,特别是涉及一种紫外激光加工系统。背景技术在蓝宝石上划片是紫外激光加工的重要应用之一。传统的用于蓝宝石划片的紫 外激光加工光学系统都是以尽量精细的聚焦点为设计目标。然而随着蓝宝石划片工艺的 完善,希望能有一种光学系统,既能刻划出足够精细的线,而且刻划的线宽在一定范围内可调。发明内容基于此,有必要提供一种刻划的线宽可调,且能保证划出的线条的精细度的紫外 激光加工系统。一种激光加工光学系统,包括沿激光出射光路上依次设置的扩...
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