技术编号:3171404
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。聚焦镜组及激光加工应用光学系统本发明涉及一种光学装置及系统,尤其涉及一种聚焦镜组及激光加工应用光学系 统。背景技术随着激光加工的不断发展,需要加工的介质品种日益增加,要求加工出来的效果 也越来越精细,尤其是一些特殊材料。由于UV紫外激光具有聚焦光斑极小,且加工热影响 区微乎其微等优点,使用UV紫外激光进行激光加工越来越广泛。UV紫外激光加工主要是用于超精细打标、特殊材料打标和划刻等,特别是IT领域 中用它来切割、划线,不但要求其划刻出的图案清晰、准确,而且...
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