技术编号:3171951
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于使特定区域的照射表面上的光斑均勻化的均化器。而且,本 发明涉及一种以光束光斑来照射该照射表面的激光照射装置。背景技术近年来,已广泛地研究了通过激光退火来结晶在例如玻璃衬底的绝缘衬底上形成 的非单晶半导体膜,或增强非单晶半导体膜的结晶度的技术。非单晶半导体膜例如为非晶 半导体膜(a_SiH)或晶体半导体膜(具有例如多晶半导体膜和微晶半导体膜(yc-SiH) 的结晶性的半导体膜)。通常把硅膜用作半导体膜。与通常常规使用的石英衬底相比,玻璃衬底...
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