技术编号：31723551
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及半导体技术领域，特别涉及一种微机电结构、麦克风以及终端。背景技术.基于微机电系统(micro electro mechanical systems，mems)制造的麦克风被称为mems麦克风，通常包括微机电结构以及与之电连接的功能集成电路(application specific integrated circuit，asic)芯片。.在传统mems麦克风中，麦克风芯片包括衬底和依次设置在衬底上的振膜及背板，振动膜与背板构成可变电容；通过声振动使振动膜振动，输出此时的背板与振动...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。