技术编号:3173383
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种。背景技术模仁的加工一般包括机械加工与化学蚀刻的方法,机械加工方法操作简单,加工成本较低,因而是较为常用的方法。然而,因为某些精密组件的加工需求,模仁加工必须严格控制精密度,而机械加工法则不易控制精密度,所以不能满足精密组件的加工。化学蚀刻法是利用光刻制程将光罩上的设计图案转移至模仁加工基板,再使用化学溶液在基板上进行化学蚀刻,从而得到预先设计的结构。化学蚀刻法可调节制程参数,因而可较易控制模仁加工的精密度。但是,在加工制作具有圆弧形凸点的...
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